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當前位置：首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-200大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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大行程型線性壓電陶瓷納米定位臺

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產品型號：NM-200

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品牌	PDV/派迪威	應用領域	綜合

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產品描述：

NM-200緊湊型線性納米定位臺，沿Z方向可提供200μm行程的運動。其緊湊的設計使其成為許多光子學和光纖定位應用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅動的線性位移臺，由于固態彎曲和平行結構，這些壓電平臺可以在X和Z方向上移動而沒有任何機械間隙。它們可提供比機械或機電系統更高的分辨率。

NM-200系列位移臺可以輕松地與XY和壓電偏轉旋轉系統結合使用，以提供所有自由度的定位。閉環版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環電橋設計。它可以在開環或閉環控制中運行。

NM-200非常適用于小部件例如反射鏡和激光二極管）的納米級精確定位，特別是在需要長期穩定性的應用中。

產品參數：

型號	NM-200	NM-200S	公差
運動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標稱行程范圍(@0~+120V)	200μm	200μm	±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)	240μm	240μm	±20%
分辨率	1.8nm	3.6nm	typ.
最小移動步長	7.0nm	7.0nm	typ.
線性誤cha	——	0.02%~0.05%	typ.
重復定位精度(全行程)	——	0.05%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)	10μrad	10μrad	typ.
承載能力	5N	5N	Max.
諧振頻率(0g)	420Hz	420 Hz	±20%
運動方向剛度	0.5N/μm	0.5N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	30N/10N	30N /10N	±20%
驅動機構	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	54×54×25mm	54×54×25mm	——
重量	95g	95g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質	鋼、鋁	鋼、鋁	——