產(chǎn)品中心

當前位置：首頁產(chǎn)品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-300大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

product

產(chǎn)品分類

tel-phone

010-82613119

查看全部

article

相關(guān)文章

大行程、垂直精密 Z向定位器壓電陶瓷納米臺

產(chǎn)品資料下載：

產(chǎn)品型號：NM-300

詳細介紹在線留言

品牌	PDV/派迪威	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

定制品價格請聯(lián)系客服

產(chǎn)品描述：

NM-300緊湊型線性納米定位臺，沿X方向可提供100μm或更大行程的運動。其緊湊的設(shè)計使其成為許多光子學和光纖定位應(yīng)用的理想工具。Z軸納米定位線性位移臺是基于壓電壓電陶瓷驅(qū)動的線性位移臺。

該納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅(qū)動元件，利用有限元優(yōu)化的集成態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保好的平行運動。由于采用了無摩擦柔性機構(gòu)，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應(yīng)和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于定位控制，例如步進或連續(xù)掃描。壓電陶瓷促動器為樹脂絕緣。這可以防潮，避免漏電流增大造成故障。其使用壽命被證明可在無問題情況下運行1000億個循環(huán)。

閉環(huán)版本具有高分辨率應(yīng)變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設(shè)計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。

產(chǎn)品參數(shù)：

型號	NM-300	NM-300S	公差
運動軸	Z	Z	——
集成傳感器	——	SGS	——
標稱行程范圍(@0~+120V)	300μm	300μm	±10%
最大行程范圍(@-20~+150V)	350μm	350μm	±20%
分辨率	3.0nm	6.0nm	typ.
最小移動步長	10nm	10 nm	typ.
線性誤cha	——	0.2%	typ.
重復定位精度(全行程)	——	0.1%	typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉(zhuǎn))	50μrad	50μrad	typ.
承載能力	10N	10N	Max.
諧振頻率(0g)	360Hz	360 Hz	±20%
運動方向剛度	0.25N/μm	0.25N/μm	±20%
運動方向推力/拉力	10N/8N	10N /8N	±20%
驅(qū)動機構(gòu)	壓電陶瓷	壓電陶瓷	——
工作溫度范圍	-20~+80℃	-20~+80 °℃	typ.
線纜長度	1.5m	1.5 m	±10mm
中空尺寸	——	——	——
外形尺寸(長×寬×高)	50×50×17.5mm	50×50×17.5mm	——
重量	250g	250g	±5%
PZT&Sensor連接器	LEMO	LEMO	——
本體材質(zhì)	鋼、鋁	鋼、鋁	——