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當前位置：首頁產品中心高精度電動平臺系列壓電陶瓷納米臺NM-005 NM-010Z 軸小體積納米位移臺壓電陶瓷納米臺

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Z 軸小體積納米位移臺壓電陶瓷納米臺

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產品型號：NM-005 NM-010
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品牌PDV/派迪威應用領域綜合

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產品描述：

NM-005為Z向直驅壓電平移臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領域中發揮著重要的作用。

底部平臺固定安裝孔可選擇M3螺紋孔，便于用戶方便安裝，訂購時需要指出。默認版本的平臺固定孔為直徑2.2 通孔。
形行程范圍為5μm（閉環）。
NM-010為Z向直驅壓電平移臺，采用壓電陶瓷直驅機構的設計原理，具有體積小、無摩擦、響應速度快等特點，配置高精度傳感器，可以實現納米級分辨率、定位精度具有較高的可靠性，壓電平移臺在精密定位領域中發揮著重要的作用。
壓電位移臺可提供SGS傳感器反饋或無反饋（開環）。
對于需要緊湊的尺寸，高動態性和亞納米級的定位分辨率，但又不需要絕對的定位精度和可重復性的應用，開環提供了一種經濟高效的選擇。在通過外部反饋源（干涉儀，視覺系統，光電探測器等）控制壓電位置的情況下，也可以使用開環設計版本。

產品參數：

型號NM-005NM-005SNM-010NM-010S公差
運動軸ZZZZ——
集成傳感器——SGS——SGS——
標稱行程范圍(@0~+120V)5μm5 μm10μm10μm±5%
最大行程范圍(@-20~+150V)7μm7μm12μm12μm±20%
分辨率0.05nm0.1nm0.1nm0.2nmtyp.
最小移動步長3.0nm3.0 nm0.4nm0.4 nmtyp.
線性誤cha——0.2%——0.2%typ.
重復定位精度(全行程)——0.1%——0.2%typ.
角擺偏差(俯仰/偏擺/滾轉)5μrad5μrad5μrad5μradtyp.
承載能力8N8N8N8NMax.
諧振頻率(0g)2500Hz2500 Hz2300Hz2300 Hz±20%
運動方向剛度2N/μm2 N/μm2N/μm2 N/μm±20%
運動方向推力/拉力12N/2N12N /2N12N/2N12N /2N±20%
驅動機構壓電陶瓷壓電陶瓷壓電陶瓷壓電陶瓷——
工作溫度范圍-20~+80℃-20~+80 °℃-20~+80℃-20~+80 °℃typ.
線纜長度1.5m1.5 m1.5m1.5 m±10mm
中空尺寸——————————
外形尺寸(長×寬×高)30×30×24mm30×30×24mm30×30×29.2mm30×30×29.2mm——
重量70g70g80g80g±5%
PZT&Sensor連接器LEMOLEMOLEMOLEMO——
本體材質鋁鋁鋁鋁——






























注：所有規格參數基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯系。表中“-"表示為不適用。
1.尾綴“-S"為閉環，內置位置傳感器。開環尾綴不帶"-S，無線性誤差、重復度數據。
2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0.+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。
3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統無摩擦，所以系統分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。
4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數表中為16-Bit對應的位移步長值。
5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。
6.更長的線纜長度請咨詢。
7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。
8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數據值，檢測報告中會給出實際的測量數據值。


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